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你知道芯片生产对洁净室有哪些要求?

Release Time:2025.08.11 Read:45

芯片,作为电子设备的核心组件,通过集成大量晶体管实现计算、存储、控制等功能,广泛应用于现代社会的各个领域,包括但不限于工业与自动化领域、汽车电子领域、医疗健康领域等。众所周知,芯片对其生产环境要求极为严格,所以芯片的生产环境一般是在洁净室里,通过对洁净室的空气净化、温湿度管理、人员操作规范等方面进行严格管控,以确保芯片的稳定性和成品率。下面德信致远带大家看看芯片生产对洁净室到底有哪些要求:

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一、核心要求

洁净室的洁净度等级,芯片在洁净室里生产,首先要保证洁净室达到一定的洁净度要求,通常芯片的生产环境需达到ISO 5级(Class 100)级标准,也就是每立方米空气中大于等于0.1微米的颗粒数不超过3520个。像光刻等关键区域甚至要求洁净室的洁净等级达到ISO 1级(Class 1),通过高效或者超高效过滤器,实现99.99%以上的微粒过滤。

 

洁净室的温湿度,芯片在洁净室里生产时,温湿度的控制也是非常重要的,因为在芯片生产过程中,如果洁净室里温度波动过大,就会影响光刻胶性能和设备精度;洁净室里湿度如果过高,则容易导致腐蚀,湿度过低,则易产生静电,对芯片有损伤。

 

二、基本要求

芯片生产的洁净室,所需要的材料要选用不锈钢、防静电pvc等无尘材料,避免产尘或者化学挥发,如防静电pvc地板,离子风机,以此来消散静电荷;此外,进入洁净室的人员,需要穿戴无尘服、口罩、护目镜等,经风淋室除尘(风速约在20m/s,吹淋时间约在15秒)后进入,严禁携带化妆品、手机等污染物,且在洁净室里工作,动作需缓慢以减少气流扰动。

 

三、其他要求

可为洁净室选配实时监测颗粒数、温湿度、压差等传感器,以此动态监测洁净室各项数据,异常自动报警,保证洁净室达到芯片生产所需各项要求。另外,还需给洁净室定期更换过滤器,每日清洁洁净室地面、墙面等。

 

总之,如果大家要做芯片生产用的洁净室,一定不能马虎,任何微小污染物都可能导致芯片有缺陷或不良,所以,要找专业洁净室厂商进行规划设计。

 

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