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洁净室的洁净度检测方法

Release Time:2021.07.06 Read:704

洁净室的洁净度检测方法


洁净室的检测根据被检测面积规定的采样点数参考下表1

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l 检测位置定义为距离地面800mm~1200mm高度;

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l 参考标准:ISO14644(美国联邦标准209E)或按设计要求。洁净等级具体可分1级、10级、100级、1000级、10000级和100000级;

l 微粒允许值:

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l 计量容积单位:ft³



检测仪器:CEMDF-9881粒子计数器。

洁净度检测也可以通过有规律扫描检测的方式来获取数据,如遇到数据波动异常的点,再通过定点详细检测的方法来获取数据。


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