关于洁净室的等级,有的人按ISO 14644标准来,有的人按已经废止的209E标准来,这两者之间有个对应的关系,目前还是有不少人分不太清楚,今天我们就一起来看下这两个标准的对应等级关系。
ISO 1级:高于Class 1级,因为ISO 1级对0.1微米粒径的最大浓度限值为10个每立方米,而Class 1级的限值为350个每立方英尺(1立方英尺=0.0283立方米)。
ISO 2级:接近Class 1级,ISO 2级对0.1微米粒径的最大浓度限值为100个每立方米。
ISO 3级:等于Class 1 级,在0.5微米粒径下,两者的最大浓度限值相同 小于等于1000个。
ISO 4级:Class 10 级(十级),在0.5微米粒径下,最大浓度限值均为3520个每立方米(ISO 4级)和100个每立方英尺(约合3520个每立方米,Class 10)。
ISO 5级:Class 100 级(百级),在0.5微米粒径下,最大浓度限值均为35200个每立方米(ISO 5级)和1000个每立方英尺(约合35200个每立方米,Class 100)。
ISO 6级:Class 1000 级(千级),在0.5微米粒径下,最大浓度限值均为352000个每立方米(ISO 6级)和10000个每立方英尺(约合352000个每立方米,Class 1000)。
ISO 7级:Class 10000 级(万级),在0.5微米粒径下,最大浓度限值均为3520000个每立方米(ISO 7级)和100000个每立方英尺(约合3520000个每立方米,Class 10000)。
ISO 8级:Class 100000级(十万级),在0.5微米粒径下,最大浓度限值均为35200000个每立方米(ISO 8级)和1000000个每立方米(约合35200000个每立方米,Class 100000)。
ISO 9级:Class 1000000级(百万级),接近普通空调房间,未有严格限制。
注意点:
两个标准的基准粒径是不同的:209E以0.5微米粒径为基准,而ISO 14644-1以0.1微米为基准,并允许测试多个粒径(如0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm等)。
状态定义:ISO 14644-1明确规定了空态、静态、动态三种测试状态,而209E未作规定。
洁净等级ISO 标准更科学,209E标准已废止,ISO 14644-1 是现行国际标准,但行业仍习惯用“Class X”表达洁净等级或者洁净度(如Class 100000十万级)。
ISO 1-3级(超高端)高洁净等级,适用于半导体纳米工艺、航天级精密制造等,需单向流(层流)和极高换气次数(500次/小时以上)。
ISO 5级(Class 100)最常见于关键行业,如无菌注射剂生产、芯片光刻区等,需用高效过滤器或超高效过滤器。
ISO 8-9级(普通洁净环境) ISO 8(Class 100000)用于包装、电子组装等,ISO 9 接近普通空调房间,无严格颗粒限制。
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