在洁净工程中,千级及以上高洁净度级别的洁净室需设技术夹层(或称静压箱、设备夹层),是一项至关重要且普遍的设计实践。其核心是满足高洁净度对气流、管线、维护的严苛要求,以保障洁净车间能稳定达标。其主要原因可归纳如下:
一是可以优化气流组织与洁净度控制。
千级及以上高洁净度的洁净室洁净工程对气流组织要求极高,多采用单向流或垂直层流的气流组织形式,要求洁净空气以均匀流速充满整个空间,以有效排除粒子。技术夹层通过合理布局送风静压箱、回风夹道等结构,确保气流从顶部高效过滤器均匀送出,经工作区后由侧墙/底部回风口收集,形成稳定的气流路径,彻底消除了管道直接送风可能产生的涡流或死角,确保了气流的高品质单向性,维持洁净度稳定。

二是可容纳复杂系统,适应工艺调整与设备维护。
千级及以上高洁净度的洁净室洁净工程需配置大型净化空调系统,其空调风量、风管尺寸庞大,且配套有大量的工艺管道(如真空、特气、化学品管线)、电气桥架和自动化设施,同时,还需布置高效过滤器、FFU(风机过滤单元)等净化设备。技术夹层为这些错综复杂的系统提供了充足的安装与敷设空间,杜绝管线穿越洁净区墙面/顶板产生缝隙,避免暴露于洁净室内产生污染风险,并且使洁净室下层的工艺布局更简洁灵活。例如,顶部技术夹层通常优先布置送风管道,下方依次安排电气管线及其他辅助管道,既保证气流组织效率,又便于后期检修调整。因为千级及以上高洁净度洁净室洁净工程需高频维护设备(如高效过滤器更换、风管清洁),乃至未来的系统随生产需求升级扩容,技术夹层为此提供了独立操作空间,后续无需停机或进入生产核心区进行检修、测试、维护,保证了洁净室洁净工程的连续稳定运行。
三是可起到静压缓冲、隔音隔热作用。
千级及以上高洁净度洁净室洁净工程需维持对相邻低级别区域的正压,防止污染渗入。技术夹层作为一个独立的压力缓冲区,便于集中管理和精确控制送风量与回风量,从而稳定维持洁净室内正压梯度。同时,设技术夹层可减少外界温湿度波动和噪音对洁净区的干扰,辅助维持洁净室内温湿度等参数稳定,进一步保障洁净等级长效保持。
总结而言,技术夹层是千级及以上高洁净度环境得以实现和维持的“心脏”与“动脉系统”。是建设高等级洁净室洁净工程不可或缺的关键架构。
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