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芯片储存用的洁净间有什么要求?

Release Time:2026.01.28 Read:15

芯片,半导体元件产品的统称,集成电路英语:integrated circuit,缩写作IC或称微电路、微芯片、晶片/芯片,在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上。在半导体芯片制造行业中,洁净间是其储存和生产的关键环境,主要目的是防止微小颗粒、化学污染物及温湿度波动对芯片造成损害。以下是其核心要求:

 

首先,是洁净间的空气洁净度要求。

芯片储存的洁净间与生产的洁净间不一样,通常洁净度需达到ISO 6-7级标准(即万级及以上)。空气中颗粒物数量需严格管控,尤其是直径大于等于0.5微米的颗粒,需通过高效空气过滤器(HEPA)实现多层过滤,确保空气中每立方米的颗粒数在一定限值内。

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其次,是洁净间的温湿度控制要求。

芯片储存的洁净间需要维持一定的温湿度,温度通常控制在20-22℃,波动范围在±2℃内;相对湿度维持在40-50% RH,波动不超过±5%。因为洁净间温湿度的精准控制可防止芯片受潮、变形或产生静电,确保储存稳定性。

 

接着,是洁净间的气流组织与压差要求。

芯片储存的洁净间通常采用单向流/乱流设计,确保气流覆盖洁净区,避免涡流产生,单向气流快速带走污染物,减少微粒滞留。另外,洁净间的不同洁净等级区域需维持正压差(如核心区压力最高),防止外部污染空气流入。

 

再者,是洁净间的防静电与材料选择要求。

芯片储存的洁净间内所有设备、货架和容器需使用防静电材料,地面铺设导电地板,墙面和天花板使用防静电涂料或材料,人员穿戴防静电服,防止静电放电击穿芯片电路。

 

最后,是洁净间的 环境监测与管理要求。

芯片储存的洁净间需建立严格的洁净间管理规范,实时监控颗粒数、温湿度、压差等参数,并定期检测过滤器效率。设备维护需在不破坏洁净环境的前提下进行。

 

综上,芯片存储洁净间的设计与运行需围绕“无微粒、恒环境、抗干扰、高纯净”核心,与芯片生产洁净区形成配套,确保芯片在存储环节无二次污染,保障产品性能稳定。

 

 

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