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洁净室的回风形式主要根据气流流型（单向流或非单向流）和工艺需求来设计，核心目标是迅速排走污染物并避免二次扩散。洁净室的回风形式直接决定了气流组织效果，是实现洁净度等级的关键环节。主要分为以下几类：

一、侧墙下部回风

这是非单向流洁净室最主流的形式，也就是常说的“顶送下侧回”设计。顶部送风，气流携带污染物向下，从侧墙下部的回风口排出，利用稀释原理控制污染。要注意的是回风口应布置在产尘设备的下风侧，避开人员停留区。适用于低洁净等级的非单向流洁净室，以及无法做高架地板的改造项目。

二、高架地板回风

这是单向流洁净室（层流）的标志，也就是常说的“顶送底回”设计。洁净空气依靠顶部布满天花板的高效过滤器垂直送风，形成均匀“活塞流”，污染物随气流沉降至地面，从地板格栅“挤压”出去，换气次数极高。适用于高洁净等级区域。可细分为垂直流（主流，顶送地板回）和水平流（侧送对侧墙回）。需要注意的是要求地板开孔率≥10%，回风风速控制在0.3-0.5m/s，过低或过高均会产生涡流。这种形式造价偏高，多用于芯片、光刻、精密电子车间。

三、顶部回风

这是受限或特殊工况下的备选，平常较少用。多用于局部排风需求强的区域或与FFU配合使用。洁净室全室顶回风易与送风短路，导致换气效率下降，一般仅在走廊、更衣室等非工作面采用。需要注意的是有粉尘产生的房间严禁使用，因为会导致粉尘上扬造成二次污染。不产尘的D级区在工艺受限时可采用“顶送顶回”，前提是保证无交叉污染。

四、柱下回风

万级、十万级乱流洁净室最常用，沿内墙设置独立回风柱，底部设回风百叶，气流沿墙面下沉汇入回风柱回到空调机组。不占用墙面操作空间，布局灵活，施工简单、成本适中，可分段分区控风，方便划分不同压差区域，制药、食品包装车间广泛使用。

总之，选择回风形式需综合洁净度、能耗与工艺。高等级用地板回风，常规用侧墙下部回风，有产尘工艺必须避用顶回风。

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