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洁净室工程风速及噪音检测方法

一、风速检测

检测位置：带风机滤网机组FFU的测试位置为高效下方10mm位置。

风速参考值为：0.2~0.6m/s或按设计要求。

检测仪器：风速仪。

二：噪音检测

检测位置：洁净室工程/洁净棚在距地面1200mm处。

噪音参考值为：洁净室工程68dB以内或按设计要求。 

测试要求：

1、为了体现数据的科学性，请在相对安静的现场环境下测试，必要时检测区分环境噪音。

2、层流传递窗/洁净屏/工作台/单台FFU均检测高、中、低，三个档位记录分散三点的数值后取平均值。

3、洁净室工程/洁净棚记录分散三点的数值后取平均值。

4、风淋室/风淋式传递窗记录分散三点的数值后取平均值。

检测仪器：噪音计。

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